一种离子件成型用离子发射装置

实用新型 · 2020-04-24
申请号:CN201921783215.X

申请日:20191023

授权公告号:CN210272245U

授权公告日:20200407

申请人地址:215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇城北水秀路1911号3号房

国家/省市:32(江苏)

主分类号:H01J37/09

申请人:昆山海利菲精密机械有限公司

当前权利人:昆山海利菲精密机械有限公司

发明人:易民开;杜印;邱远攀;贺帮志

分类号:H01J37/09;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/04

范畴分类:38D;

简要说明:本实用新型公开了一种离子件成型用离子发射装置,包括离子发射装置和磁吸分析装置和离子加速装置,所述离子发射装置和磁吸分析装置和离子加速装置固定安装在壳体上,所述离子发射装置包括离子发生装置和离子吸出装置,所述离子加速装置包括真空泵和加速线圈,离子加速装置的下端可拆卸安装有离子约束装置,所述离子约束装置中设置有位于离子发射路径上的导向孔。本实用新型是一种结构简单,发射精度高,且可调节精度的离子件成型用离子发射装置。

主权利要求:1.一种离子件成型用离子发射装置,包括离子发射装置(19)和磁吸分析装置(4)和离子加速装置(5),其特征在于:所述离子发射装置(19)和磁吸分析装置(4)和离子加速装置(5)固定安装在壳体(1)上,所述离子发射装置(19)包括离子发生装置(2)和离子吸出装置(3),所述离子加速装置(5)包括真空泵(7)和加速线圈(6),离子加速装置(5)的下端可拆卸安装有离子约束装置(9),所述离子约束装置(9)中设置有位于离子发射路径上的导向孔(11)。

当前状态:1

权利要求,1.一种离子件成型用离子发射装置,包括离子发射装置(19)和磁吸分析装置(4)和离子加速装置(5),其特征在于:所述离子发射装置(19)和磁吸分析装置(4)和离子加速装置(5)固定安装在壳体(1)上,所述离子发射装置(19)包括离子发生装置(2)和离子吸出装置(3),所述离子加速装置(5)包括真空泵(7)和加速线圈(6),离子加速装置(5)的下端可拆卸安装有离子约束装置(9),所述离子约束装置(9)中设置有位于离子发射路径上的导向孔(11)。2.根据权利要求1所述的一种离子件成型用离子发射装置,其特征在于:所述离子约束装置(9)的下端设置有导流体(10),所述导流体(10)为圆锥状结构,所述导向孔(11)设置在导流体(10)的轴心处。3.根据权利要求2所述的一种离子件成型用离子发射装置,其特征在于:所述导流体(10)通过一组连接杆(13)连接在离子约束装置(9)上,相邻的连接杆(13)之间形成排出孔(12)。4.根据权利要求3所述的一种离子件成型用离子发射装置,其特征在于:所述连接杆(13)的截面为锐角三角形,锐角三角形的锐角指向导流体(10)的轴心。5.根据权利要求1所述的一种离子件成型用离子发射装置,其特征在于:所述离子加速装置(5)的下端设置有连接座(8),所述连接座(8)的圆周外侧壁上设置有导向槽(18),所述离子约束装置(9)的上端设置有导向轨(17),所述导向轨(17)卡接安装在导向槽(18)中。6.根据权利要求5所述的一种离子件成型用离子发射装置,其特征在于:所述离子加速装置(5)上端的圆周侧壁上设置有沉头孔(15),所述连接座(8)的圆周外侧壁上设置有螺纹孔(14),所述沉头孔(15)中穿设有螺钉(16),所述螺钉(16)螺纹连接在螺纹孔(14)中。

说明书, 一种离子件成型用离子发射装置

技术领域

本实用新型涉及离子注入技术领域,具体为一种离子件成型用离子发射装置。

背景技术

随着科学技术的进步,为了在MOS工艺领域获取到更出色的电学特性,需要在对晶圆进行离子掺杂时实现更深的掺杂,这意味着在离子注入机对晶圆进行掺杂时,需要使离子具有更高的能量。在现有技术中,通常是通过离子注入机对离子进行加速,使离子具有更高的能量。然而现有的离子发射装置在进行离子发射的过程中,往往难以可以离子流的注射精度,这就需要需要在半导体上通过光刻胶来阻挡离子的注入,需要经过涂胶、烘胶、曝光、显影、坚膜、腐蚀、去胶等工序,耗时长、成本高。所以,亟需一种新型的离子件成型用离子发射装置克服上述技术缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子件成型用离子发射装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种离子件成型用离子发射装置,包括离子发射装置和磁吸分析装置和离子加速装置,所述离子发射装置和磁吸分析装置和离子加速装置固定安装在壳体上,所述离子发射装置包括离子发生装置和离子吸出装置,所述离子加速装置包括真空泵和加速线圈,离子加速装置的下端可拆卸安装有离子约束装置,所述离子约束装置中设置有位于离子发射路径上的导向孔。

优选的,所述离子约束装置的下端设置有导流体,所述导流体为圆锥状结构,所述导向孔设置在导流体的轴心处。

优选的,所述导流体通过一组连接杆连接在离子约束装置上,相邻的连接杆之间形成排出孔。

优选的,所述连接杆的截面为锐角三角形,锐角三角形的锐角指向导流体的轴心。

优选的,所述离子加速装置的下端设置有连接座,所述连接座的圆周外侧壁上设置有导向槽,所述离子约束装置的上端设置有导向轨,所述导向轨卡接安装在导向槽中。

优选的,所述离子加速装置上端的圆周侧壁上设置有沉头孔,所述连接座的圆周外侧壁上设置有螺纹孔,所述沉头孔中穿设有螺钉,所述螺钉螺纹连接在螺纹孔中。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型中,离子约束装置中导向孔可以使得离子按照设定的区域射出。导流体为圆锥状结构,可以将设定区域以外的离子与导向孔中离子分离并顺利沿着导流体的圆锥状表面射出,设定区域的离子从导向孔射出。连接杆的截面锐角指向导流体的轴心,可以减少对离子流的阻挡。导向轨卡接安装在导向槽中可以提高离子约束装置的安装精度。离子约束装置通过螺钉可拆卸安装在连接座上,便于更换具有不同孔径导向孔的离子约束装置进行更换,以便使离子发射装置可以发射出不同直径的离子柱。本实用新型是一种结构简单,发射精度高,且可调节精度的离子件成型用离子发射装置。

附图说明

图1为一种离子件成型用离子发射装置的结构示意图;

图2为图1中K处的局部放大图;

图3为图1中A处的截面图。

图中:1-壳体,2-离子发生装置,3-离子吸出装置,4-磁吸分析装置,5-离子加速装置,6-加速线圈,7-真空泵,8-连接座,9-离子约束装置,10-导流体,11-导向孔,12-排出孔,13-连接杆,14-螺纹孔,15-沉头孔,16-螺钉,17-导向轨,18-导向槽,19-离子发射装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1~3,本实用新型提供一种技术方案:

一种离子件成型用离子发射装置,包括离子发射装置19和磁吸分析装置4和离子加速装置5,所述离子发射装置19和磁吸分析装置4和离子加速装置5固定安装在壳体1上,所述离子发射装置19包括离子发生装置2和离子吸出装置3,所述离子加速装置5包括真空泵7和加速线圈6,离子加速装置5的下端可拆卸安装有离子约束装置9,所述离子约束装置9中设置有位于离子发射路径上的导向孔11。

使用时离子发生装置2产生离子离子吸出装置3将离子吸出并发射,然后磁吸分析装置对发射的离子进行检测分离,可用的离子进入离子加速装置5后被射出,加速线圈6用于加速离子,真空泵7用于对离子路径制造真空,离子约束装置9中导向孔11可以使得离子按照设定的区域射出。

所述离子约束装置9的下端设置有导流体10,所述导流体10为圆锥状结构,所述导向孔11设置在导流体10的轴心处。

导流体10为圆锥状结构,可以将设定区域以外的离子与导向孔11中离子分离并顺利沿着导流体10的圆锥状表面射出,设定区域的离子从导向孔11射出。

可优选地,所述导流体10通过一组连接杆13连接在离子约束装置9上,相邻的连接杆13之间形成排出孔12。

排出孔12便于经导流体10分离的离子,顺利沿着导流体10的圆锥状表面射出。

可优选地,所述连接杆13的截面为锐角三角形,锐角三角形的锐角指向导流体10的轴心。

连接杆13的截面锐角指向导流体10的轴心,可以减少对离子流的阻挡。

可优选地,所述离子加速装置5的下端设置有连接座8,所述连接座8的圆周外侧壁上设置有导向槽18,所述离子约束装置9的上端设置有导向轨17,所述导向轨17卡接安装在导向槽18中。

导向轨17卡接安装在导向槽18中可以提高离子约束装置9的安装精度。

可优选地,所述离子加速装置5上端的圆周侧壁上设置有沉头孔15,所述连接座8的圆周外侧壁上设置有螺纹孔14,所述沉头孔15中穿设有螺钉16,所述螺钉16螺纹连接在螺纹孔14中。

离子约束装置9通过螺钉可拆卸安装在连接座8上,便于更换具有不同孔径导向孔11的离子约束装置9进行更换,以便使离子发射装置可以发射出不同直径的离子柱。

本实用新型的工作原理是:使用时离子发生装置2产生离子离子吸出装置3将离子吸出并发射,然后磁吸分析装置对发射的离子进行检测分离,可用的离子进入离子加速装置5后被射出,加速线圈6用于加速离子,真空泵7用于对离子路径制造真空,离子约束装置9中导向孔11可以使得离子按照设定的区域射出。导流体10为圆锥状结构,可以将设定区域以外的离子与导向孔11中离子分离并顺利沿着导流体10的圆锥状表面射出,设定区域的离子从导向孔11射出。排出孔12便于经导流体10分离的离子,顺利沿着导流体10的圆锥状表面射出。连接杆13的截面锐角指向导流体10的轴心,可以减少对离子流的阻挡。导向轨17卡接安装在导向槽18中可以提高离子约束装置9的安装精度。离子约束装置9通过螺钉可拆卸安装在连接座8上,便于更换具有不同孔径导向孔11的离子约束装置9进行更换,以便使离子发射装置可以发射出不同直径的离子柱。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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