一种离子件生产用耐高温离子导向装置

实用新型 · 2020-04-24
申请号:CN201921784173.1

申请日:20191023

授权公告号:CN210272250U

授权公告日:20200407

申请人地址:215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇城北水秀路1911号3号房

国家/省市:32(江苏)

主分类号:H01J49/06

申请人:昆山海利菲精密机械有限公司

当前权利人:昆山海利菲精密机械有限公司

发明人:易民开;杜印;邱远攀;贺帮志

分类号:H01J49/06

范畴分类:38D;

简要说明:本实用新型公开了一种离子件生产用耐高温离子导向装置,包括导向框,所述导向框上端面为开口设置,所述导向框上端设置有端盖,所述端盖通过螺栓与导向框固定连接,所述导向框左端面设置有离子流进口,所述导向框内左侧设置有第一竖板,结构简单,构造清晰易懂,电容器能够将离子流中脱离轨道的离子吸收储存,减少离子流和导向斜杆以及相互之间的碰撞,从而降低产生的热量,并且第一竖板和第二竖板之间上下两侧固定连接有吸热导热板,能够有效的将离子流产生的热量吸收并带走,提高整体设备的使用寿命,环形设置的若干导向直杆进一步对离子流进行约束,提高离子导向效果。

主权利要求:1.一种离子件生产用耐高温离子导向装置,包括导向框(9),其特征在于:所述导向框(9)上端面为开口设置,所述导向框(9)上端设置有端盖(15),所述端盖(15)通过螺栓(14)与导向框(9)固定连接,所述导向框(9)左端面设置有离子流进口(12),所述导向框(9)内左侧设置有第一竖板(13),所述第一竖板(13)右侧设置有第二竖板(3),所述第一竖板(13)和第二竖板(3)之间连接有若干导向斜杆(7),所述第一竖板(13)和第二竖板(3)中间分别设置有第一离子导向口(10)和第二离子导向口(16),所述第二竖板(3)右侧均匀排列设置有若干第三竖板(1),所述第三竖板(1)中间设置有第三离子导向口(17),所述第三离子导向口(17)内设置有若干导向直杆(18),所述导向框(9)右端中间设置有离子流出口(20)。

当前状态:1

权利要求,1.一种离子件生产用耐高温离子导向装置,包括导向框(9),其特征在于:所述导向框(9)上端面为开口设置,所述导向框(9)上端设置有端盖(15),所述端盖(15)通过螺栓(14)与导向框(9)固定连接,所述导向框(9)左端面设置有离子流进口(12),所述导向框(9)内左侧设置有第一竖板(13),所述第一竖板(13)右侧设置有第二竖板(3),所述第一竖板(13)和第二竖板(3)之间连接有若干导向斜杆(7),所述第一竖板(13)和第二竖板(3)中间分别设置有第一离子导向口(10)和第二离子导向口(16),所述第二竖板(3)右侧均匀排列设置有若干第三竖板(1),所述第三竖板(1)中间设置有第三离子导向口(17),所述第三离子导向口(17)内设置有若干导向直杆(18),所述导向框(9)右端中间设置有离子流出口(20)。2.根据权利要求1所述的一种离子件生产用耐高温离子导向装置,其特征在于:所述离子流进口(12)外设置有孔板(11),所述孔板(11)与导向框(9)左端面一体化连接设置。3.根据权利要求2所述的一种离子件生产用耐高温离子导向装置,其特征在于:所述导向斜杆(7)和导向直杆(18)均设置有六组,六组导向斜杆(7)均匀环绕设置,所述导向斜杆(7)左端连接有第一连接头(8),所述第一连接头(8)在第一离子导向口(10)外围设置并与第一竖板(13)固定连接,所述导向斜杆(7)右端连接有第二连接头(2),所述第二连接头(2)在第二离子导向口(16)外围设置并与第二竖板(3)固定连接,所述第一离子导向口(10)直径大于第二离子导向口(16)直径。4.根据权利要求3所述的一种离子件生产用耐高温离子导向装置,其特征在于:所述导向直杆(18)右端固定连接有第三连接头(19),所述第三连接头(19)在离子流出口(20)外围设置并与导向框(9)右端面固定连接。5.根据权利要求4所述的一种离子件生产用耐高温离子导向装置,其特征在于:所述导向斜杆(7)外围表面固定安装有电容器(5),所述电容器(5)连接有线缆(4)。6.根据权利要求5所述的一种离子件生产用耐高温离子导向装置,其特征在于:所述第一竖板(13)和第二竖板(3)之间上下两侧固定连接有吸热导热板(6)。

说明书, 一种离子件生产用耐高温离子导向装置

技术领域

本实用新型涉及离子件生产技术领域,具体为一种离子件生产用耐高温离子导向装置。

背景技术

离子导向件通常利用电磁场在径向上限制离子,同时在轴向上允许或者促进离子传输。离子件在生产过程中,离子的传输导向会因为离子相互之间的碰撞以及离子和导向结构的碰撞产生大量的热量,若不对热量进行处理,容易对设备产生损坏,降低使用寿命,并且恶性循环,加速离子的运动,不利于离子集束,因此,需要一种离子件生产用耐高温离子导向装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子件生产用耐高温离子导向装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种离子件生产用耐高温离子导向装置,包括导向框,所述导向框上端面为开口设置,所述导向框上端设置有端盖,所述端盖通过螺栓与导向框固定连接,所述导向框左端面设置有离子流进口,所述导向框内左侧设置有第一竖板,所述第一竖板右侧设置有第二竖板,所述第一竖板和第二竖板之间连接有若干导向斜杆,所述第一竖板和第二竖板中间分别设置有第一离子导向口和第二离子导向口,所述第二竖板右侧均匀排列设置有若干第三竖板,所述第三竖板中间设置有第三离子导向口,所述第三离子导向口内设置有若干导向直杆,所述导向框右端中间设置有离子流出口。

优选的,所述离子流进口外设置有孔板,所述孔板与导向框左端面一体化连接设置。

优选的,所述导向斜杆和导向直杆均设置有六组,六组导向斜杆均匀环绕设置,所述导向斜杆左端连接有第一连接头,所述第一连接头在第一离子导向口外围设置并与第一竖板固定连接,所述导向斜杆右端连接有第二连接头,所述第二连接头在第二离子导向口外围设置并与第二竖板固定连接,所述第一离子导向口直径大于第二离子导向口直径。

优选的,所述导向直杆右端固定连接有第三连接头,所述第三连接头在离子流出口外围设置并与导向框右端面固定连接。

优选的,所述导向斜杆外围表面固定安装有电容器,所述电容器连接有线缆。

优选的,所述第一竖板和第二竖板之间上下两侧固定连接有吸热导热板。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型结构简单,构造清晰易懂,第一离子导向口和第二离子导向口之间设置有环形设置的若干导向斜杆,具有离子导向效果,并将离子束缩小,电容器能够将离子流中脱离轨道的离子吸收储存,减少离子流和导向斜杆以及相互之间的碰撞,从而降低产生的热量,并且第一竖板和第二竖板之间上下两侧固定连接有吸热导热板,能够有效的将离子流产生的热量吸收并带走,提高整体设备的使用寿命,环形设置的若干导向直杆进一步对离子流进行约束,提高离子导向效果。

附图说明

图1为一种离子件生产用耐高温离子导向装置的整体截面结构示意图;

图2为一种离子件生产用耐高温离子导向装置的导向斜杆结构示意图。

图中:1-第三竖板,2-第二连接头,3-第二竖板,4-线缆,5-电容器,6-吸热导热板,7-导向斜杆,8-第一连接头,9-导向框,10-第二离子导向口,11-孔板,12-离子流进口,13-第一竖板,14-螺栓,15-端盖,16-第二离子导向口,17-第三离子导向口,18-导向直杆,19-第三连接头,20-离子流出口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1~2,本实用新型提供一种技术方案:一种离子件生产用耐高温离子导向装置,包括导向框9,所述导向框9上端面为开口设置,所述导向框9上端设置有端盖15,所述端盖15通过螺栓14与导向框9固定连接,所述导向框9左端面设置有离子流进口12,所述导向框9内左侧设置有第一竖板13,所述第一竖板13右侧设置有第二竖板3,所述第一竖板13和第二竖板3之间连接有若干导向斜杆7,所述第一竖板13和第二竖板3中间分别设置有第一离子导向口10和第二离子导向口16,所述第二竖板3右侧均匀排列设置有若干第三竖板1,所述第三竖板1中间设置有第三离子导向口17,所述第三离子导向口17内设置有若干导向直杆18,所述导向框9右端中间设置有离子流出口20,所述离子流进口12外设置有孔板11,所述孔板11与导向框9左端面一体化连接设置,所述导向斜杆7和导向直杆18均设置有六组,六组导向斜杆7均匀环绕设置,所述导向斜杆7左端连接有第一连接头8,所述第一连接头8在第一离子导向口10外围设置并与第一竖板13固定连接,所述导向斜杆7右端连接有第二连接头2,所述第二连接头2在第二离子导向口16外围设置并与第二竖板3固定连接,所述第一离子导向口10直径大于第二离子导向口16直径,所述导向直杆18右端固定连接有第三连接头19,所述第三连接头19在离子流出口20外围设置并与导向框9右端面固定连接,所述导向斜杆7外围表面固定安装有电容器5,所述电容器5连接有线缆4,所述第一竖板13和第二竖板3之间上下两侧固定连接有吸热导热板6。

离子流从离子流进口12进入导向框9内,离子流从左到右依次沿着第一离子导向口10、第二离子导向口16和第三离子导向口17进行导向传输,并从离子流出口20排出,其中第一离子导向口10和第二离子导向口16之间设置有环形设置的若干导向斜杆7,具有离子导向效果,并将离子束缩小,导向斜杆7外围表面固定安装有电容器5,电容器5能够将离子流中脱离轨道的离子吸收储存,减少离子流和导向斜杆7以及相互之间的碰撞,从而降低产生的热量,并且第一竖板13和第二竖板3之间上下两侧固定连接有吸热导热板6,能够有效的将离子流产生的热量吸收并带走,提高整体设备的使用寿命,环形设置的若干导向直杆18进一步对离子流进行约束,提高离子导向效果。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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